报道：ASML揭秘EUV光源突破，2030年芯片产量有望提升50%

“这并非噱头，也不是那种只能维持极短时间演示的把戏，”ASML的EUV光源首席技术官迈克尔·珀维斯（Michael Purvis）表示。“这是一个能在满足客户所有实际需求的情况下，稳定产生1,000瓦功率的系统，”他在公司位于加州圣迭戈附近的设施中补充道。