韩国PKC扩建群山工厂半导体氯气产能 提升50%

⑴ 韩国化学企业PKC已启动其群山工厂半导体氯气产能扩建工程，产能将提升50%。⑵ 年产能将从目前的1400至1500吨提升至2100至2200吨。⑶ 此次投资是在事先与三星电子协商后决定的，规模达数百亿韩元。⑷ 扩建的驱动因素是高密度NAND闪存堆叠所需的蚀刻气体需求激增，以及三星电子要求扩大氯化氢的供应。氯化氢常用于半导体晶圆清洗和蚀刻工艺，其通过氯气与氢气反应生成。